具備高速度, 低振動, 低噪音, 可讀取雙面刻號, 進行快速及準確的篩選及分類
- 設備採用 SEMI 標準規範設計12吋專用晶圓盒
- 可選性 n 組標準晶圓 Load port
- 可搭配各家機器手臂晶圓取/放片功能控制
- 晶圓定位感測回授訊號
- 提供製程配方參數與晶圓手臂施放控制
- 經可調整的排序功能, 將晶圓按照順序及交叉方式進行施放作業
- TCP/IP 網路通訊介面＆SECS/GEM通訊協定
- 依客戶需求客製機台設備配置, 傳送模式及參數
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