高效率, 高靈活性, 高潔靜度, 依照客戶要求搭配各種前後端機器設備, 快速的設計和製造出專屬於您的一款EFEM設備
- 採用SEMI標準規範設計8吋與12吋專用晶圓盒
- 可選性 n 組晶圓LoadPort
- 可搭配各家機械手臂晶圓取/放片功能控制
- 晶圓預對準器-用於檢查晶圓對準定位和讀取晶圓產品ID編號
- 可配合開發資料建立
- 經可調整的排序功能, 將晶圓按照順序及交叉方式進行拖放作業.
- TCP/IP網路通訊介面&SECS/GEM通訊協定 (另選)
- 依客戶需求客製機台設備配置及參數
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